超硬超厚類金剛石薄膜合成研究 - 免費下載
技術資料資源
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資源簡介
采用過濾真空陰極直流弧源（Filtered Cathodic Vicuum Arc Deposition, FCVA）方法沉積超硬（>6000HV）超厚(微米級)的DLC/DLC多層薄膜。
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