基于模糊集與小波技術的MEMS平面運動測量 - 免費下載
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資源簡介
·摘 要:實現對MEMS的微結構平面運動幅值提取和分析,為提高MEMS器件的性能和可靠性分析提供重要參考。在連續光照明條件下,提出了一種基于模糊集圖像增強技術與小波變換邊緣檢測技術相結合的MEMS運動幅值測量方法。該方法通過模糊集技術對MEMS運動模糊特征帶進行圖像增強及降噪處理,并結合小波變換技術提取MEMS諧振器的運動幅值。通過掃頻實驗獲得MEMS諧振器的平面運動幅值響應曲線。實驗結果表明,該方
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