Plasma Immersion Ion Implantation (IN MKS UNITS)
This inputdeck simulates a RF discharge; to vary the electrodo ratio area,
change the values of r1 and/or r0. 
With ion and electon-neutral collisions (Argon Atom)

-nsp---nc---nc2p---dt[s]---r0[m]---r1[m]---epsilonr--
  2   200   6e7    1e-9    0.005    0.15      1.0	    

-rhoback[C/m^3]---backj[Amp/m^2]---dde---extR[Ohm]---extL[H]---extC[F]--q0[C]-
     0.0               0.0         0.0      0.0     	 0.0       1.0	    0.0 

-dcramped--source--dc[V|Amp]--ramp[(V|Amp)/s]---ac[V|Amp]---f0[Hz]--theta0[D]-
    1        v       -1000        0.0             -1000      5e5       0.0     

---secondary----e_collisional----i_collosional----reflux---nfft--
      0               0          	   2              0		 0

---seec(electrons)---seec(ions)---ion species---Gpressure[Torr]---GTemp[eV]---
         0.0            0.2			2	         5e-2           .026					
											
ELECTRON-NEUTRAL COLLISIONAL PARAMETERS-----

--selsmax[m^2]---elsengy0[eV]---elsengy1[eV]---elsengy2[eV]-
 	 1.0e-19         0.0             0.0           10.0     	

--sextmax[m^2]---extengy0[eV]---extengy1[eV]---extengy2[eV]---
	 1.0e-20        12.0     	  50.0    	  100.0    

--sionmax[m^2]---ionengy0[eV]---ionengy1[eV]---ionengy2[eV]---
     1.0e-20		 13.6	       60.0	       110.0

ION-NEUTRAL COLLISIONAL PARAMETERS-----

---achrgx[m^2]--bchrgx[m^2/V^1/2]-------ascat[m^2]--bscat[m^2/V^1/2]---
  	 2.0e-19		  5.5e-19			   1.8e-19	  4.0e-19


SPECIES 1:

----q[C]-------m[Kg]---j0L[Amp/m^2]---j0R[Amp/m^2]----initn[m^-3]--
 -1.602e-19   9.11e-31     0.            0.268           1e13     

--v0L[m/s]--v0R[m/s]--vtL[m/s]--vtR[m/s]--vcL[m/s]--vcR[m/s]--vtperp[m/s]--
    0.0      0.0     4.19346e5  4.19346e5  0.0       0.0     	 0.0  

---nbin----Emin[eV]----Emax[eV]
    50       0	     1000


SPECIES 2:

----q[C] ------m[Kg]---j0L[Amp/m^2]---j0R[Amp/m^2]----initn[m^-3]--
  1.602e-19   66.8e-27    0.           9.89727e-4        1e13       

--v0L[m/s]--v0R[m/s]--vtL[m/s]--vtR[m/s]--vcL[m/s]--vcR[m/s]--vtperp[m/s]---
    0.0      0.0     1.54861e3  1.54861e3   0.0        0.0	   	 0.0

---nbin----Emin[eV]----Emax[eV]
    50       0	     1000