中國/科技/信息/上海/裝備/零部件/研究/取得/重要/進展/當前/位置/技術/前沿/綜合/上海/裝備/零部件/研究/取得/重要/進展/發布/時間/來源/中國/科學/技術/信息/研究/加工/整理/中國/科學/日報/滿足/我國/裝備/零部件/國產/要求/上海/科學/技術/委員會/支持/近期/上海/定位/激光/干涉/硅片/缺陷/自動/檢測/激光/分子/激光/系統/部分/關鍵/技術/研究/取得/重要/進展/定位/激光/干涉/項目/研究/研究/課題/開展/通過/研究/取得/專利/完成/關鍵/技術/攻關/原理/實驗/工作/基礎/研制/激光/干涉/樣機/驗收/專家/認為/該項/研制/成功/精度/掃描/投影/硅片/定位/檢測/具有/重要/意義/激光/干涉/同時/具有/范圍/高分/精度/高速/允許/光源/通道/優點/在先/制造/國防/尖端/領域/獲得/廣泛/應用/極大/規模/集成電路/機工/自由/實時/精密/測量/不可/關鍵/技術/核心/部件/硅片/缺陷/自動/檢測/研究/工作/研究/研究/所在/課題/開展/研制/成功/硅片/缺陷/自動/檢測/實驗室/樣機/傾斜/激光/掃描/散射/檢測/技術/高效/數值/散射/收集/光電/檢測/技術/提高/探測/靈敏/獲得/關鍵/技術/方面/獲得/突破/取得/專利/技術/檢測/設備/具有/破壞/高速/高分/特點/目前/半導體/制造/行業/主流/硅片/缺陷/實時/檢測/過程/控制/關鍵/設備/驗收/專家/認為/樣機/研制/成功/對于/改變/我國/大規模/集成電路/專用/檢測/設備/長期/依賴/進口/局面/研制/開發/具有/自主/知識/產權/國產/設備/取得/重要/進展/激光/分子/激光/系統/部分/關鍵/技術/研究/研究/所在/課題/開展/他們/該項/研究/中共/取得/專利/完成/關鍵/技術/攻關/原理/實驗/工作/建立/用于/分子/激光/均勻/測試/平臺/標準/方法/對準/分子/激光/進行/壓縮/實現/寬度/研制/分子/激光/均勻/脈沖/均勻/優于/該項/現已/通過/上海/科委/組織/驗收/完成/分子/激光/國產/具有/重要/意義/發表/評論/打印/智能/檢索/全文/檢索/類比/檢索/高級/檢索/檢索/幫助/推薦/信息/相關/評論/相關/科技/信息/相關/動態/信息/