中國/科技/信息/上海/裝備/零部件/研究/取得/重要/進(jìn)展/當(dāng)前/位置/技術(shù)/前沿/綜合/上海/裝備/零部件/研究/取得/重要/進(jìn)展/發(fā)布/時間/來源/中國/科學(xué)/技術(shù)/信息/研究/加工/整理/中國/科學(xué)/日報/滿足/我國/裝備/零部件/國產(chǎn)/要求/上海/科學(xué)/技術(shù)/委員會/支持/近期/上海/定位/激光/干涉/硅片/缺陷/自動/檢測/激光/分子/激光/系統(tǒng)/部分/關(guān)鍵/技術(shù)/研究/取得/重要/進(jìn)展/定位/激光/干涉/項目/研究/研究/課題/開展/通過/研究/取得/專利/完成/關(guān)鍵/技術(shù)/攻關(guān)/原理/實驗/工作/基礎(chǔ)/研制/激光/干涉/樣機(jī)/驗收/專家/認(rèn)為/該項/研制/成功/精度/掃描/投影/硅片/定位/檢測/具有/重要/意義/激光/干涉/同時/具有/范圍/高分/精度/高速/允許/光源/通道/優(yōu)點/在先/制造/國防/尖端/領(lǐng)域/獲得/廣泛/應(yīng)用/極大/規(guī)模/集成電路/機(jī)工/自由/實時/精密/測量/不可/關(guān)鍵/技術(shù)/核心/部件/硅片/缺陷/自動/檢測/研究/工作/研究/研究/所在/課題/開展/研制/成功/硅片/缺陷/自動/檢測/實驗室/樣機(jī)/傾斜/激光/掃描/散射/檢測/技術(shù)/高效/數(shù)值/散射/收集/光電/檢測/技術(shù)/提高/探測/靈敏/獲得/關(guān)鍵/技術(shù)/方面/獲得/突破/取得/專利/技術(shù)/檢測/設(shè)備/具有/破壞/高速/高分/特點/目前/半導(dǎo)體/制造/行業(yè)/主流/硅片/缺陷/實時/檢測/過程/控制/關(guān)鍵/設(shè)備/驗收/專家/認(rèn)為/樣機(jī)/研制/成功/對于/改變/我國/大規(guī)模/集成電路/專用/檢測/設(shè)備/長期/依賴/進(jìn)口/局面/研制/開發(fā)/具有/自主/知識/產(chǎn)權(quán)/國產(chǎn)/設(shè)備/取得/重要/進(jìn)展/激光/分子/激光/系統(tǒng)/部分/關(guān)鍵/技術(shù)/研究/研究/所在/課題/開展/他們/該項/研究/中共/取得/專利/完成/關(guān)鍵/技術(shù)/攻關(guān)/原理/實驗/工作/建立/用于/分子/激光/均勻/測試/平臺/標(biāo)準(zhǔn)/方法/對準(zhǔn)/分子/激光/進(jìn)行/壓縮/實現(xiàn)/寬度/研制/分子/激光/均勻/脈沖/均勻/優(yōu)于/該項/現(xiàn)已/通過/上海/科委/組織/驗收/完成/分子/激光/國產(chǎn)/具有/重要/意義/發(fā)表/評論/打印/智能/檢索/全文/檢索/類比/檢索/高級/檢索/檢索/幫助/推薦/信息/相關(guān)/評論/相關(guān)/科技/信息/相關(guān)/動態(tài)/信息/