本書集作者多年來的實踐經驗與研究成果，系統地介紹了微納米加工技術的基礎，包括光學曝光技術、電子束曝光技術、聚焦離子束加工技術、X射線曝光技術、各種刻蝕技術和微納米尺度的復制技術，對各種加工技術著重講清原理，列舉基本的工藝步驟，說明各種工藝條件的由來，并注意給出典型上藝參數，充分分析了各種技術的優缺點及在應用過程過程中的注意事項，全書強調實用，避免煩瑣的數學分析，既注重基礎知識又兼顧微納米加工領域近年來的最新進展及在各高科技鎖域的應用，并列舉了相關參考文獻供進一步深入研究，因此不論是對初次涉足這一領域的大專院校的本科生或研究生,還是對已經有一定工作經驗的專業科技人員，都具有很好的參考價值。
標簽：
微納米加工技術
上傳時間：
2022-07-10
上傳用戶：d1997wayne
