?? 微機電系統(tǒng)技術資料

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微機電系統(tǒng)(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。

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