?? 微機電系統技術資料

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微機電系統（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微電子機械系統、微系統、微機械等，指尺寸在幾毫米乃至更小的高科技裝置。

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?? ?? 金宜

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?? ?? czl10052678

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