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精密半導(dǎo)體晶片的“清道夫”

時(shí)間:2024-01-23


人的一根頭發(fā)有多粗?

一般在200微米以下

病毒直徑有多大?大約50納米

目前的半導(dǎo)體晶片工藝能夠達(dá)到多少?

10納米!甚至是7納米!

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大到航天裝備,小到手機(jī)通訊,從軍品到民用,半導(dǎo)體晶片應(yīng)用越來(lái)越廣泛,越來(lái)越精密,其制造業(yè)發(fā)展十分迅猛。

但是許多人不知道,制造小于10納米單位數(shù)節(jié)點(diǎn)晶片的過程中需要經(jīng)過數(shù)百道清洗工序,此過程中用于半導(dǎo)體晶片清潔的關(guān)鍵產(chǎn)品就是——電子級(jí)硫酸。

5月30日,全球領(lǐng)先的化工公司巴斯夫在上海召開的媒體見面會(huì)上宣布,位于浙江嘉興的新建電子級(jí)硫酸裝置正式投入運(yùn)營(yíng),其產(chǎn)品將主要服務(wù)于中國(guó)日益增長(zhǎng)的半導(dǎo)體制造行業(yè),并將配比下一代節(jié)點(diǎn)最佳質(zhì)量水平(10納米至7納米)。在客戶強(qiáng)勁需求的推動(dòng)下,該裝置尚未竣工即同時(shí)啟動(dòng)擴(kuò)建項(xiàng)目,擴(kuò)容后產(chǎn)能將翻番,達(dá)到24000噸,擴(kuò)建項(xiàng)目預(yù)計(jì)將于今年年底投產(chǎn)。

巴斯夫電子材料業(yè)務(wù)部亞太區(qū)副總裁言甯璿博士表示:“嘉興的新電子級(jí)硫酸裝置是巴斯夫在中國(guó)電子材料市場(chǎng)持續(xù)增長(zhǎng)與拓展的又一重要舉措。中國(guó)已成為全球最大電子材料市場(chǎng)之一,而且還在不斷成長(zhǎng),我們很高興能夠參與這一增長(zhǎng)勢(shì)頭。我們將更貼近客戶,為他們提供更迅捷、更高效的化學(xué)解決方案、更可靠的供應(yīng)和更穩(wěn)定的品質(zhì)。”

巴斯夫嘉興裝置所生產(chǎn)的硫酸在性能水平上已經(jīng)超越了當(dāng)今速度最快、性能最優(yōu)的半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)要求,其質(zhì)量與穩(wěn)定性在業(yè)內(nèi)首屈一指。嘉興裝置依托巴斯夫全球研發(fā)網(wǎng)絡(luò)與專業(yè)生產(chǎn)技術(shù),成功搭建出生產(chǎn)工藝的復(fù)雜架構(gòu),并實(shí)施質(zhì)量管理專有體系。

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據(jù)巴斯夫電子材料中國(guó)區(qū)總經(jīng)理竇崢介紹,嘉興硫酸裝置分化過程有五大亮點(diǎn):以聚四氟乙烯為內(nèi)襯的工藝過濾制程設(shè)備;全自動(dòng)化,在線生產(chǎn)控制系統(tǒng);先進(jìn)裝車系統(tǒng):如自動(dòng)潔凈槽車充填系統(tǒng);多步過濾技術(shù),最大程度實(shí)現(xiàn)微量金屬粒子去除;新建成配備先進(jìn)分析設(shè)備和無(wú)塵環(huán)境的質(zhì)量控制實(shí)驗(yàn)室,金屬檢測(cè)水平達(dá)到千萬(wàn)億分之一等級(jí)。

據(jù)了解,該套新裝置位于上海西南的浙江省嘉興市海濱城鎮(zhèn)乍浦,配備了最先進(jìn)的技術(shù),將生產(chǎn)最高品質(zhì)的硫酸。這一裝置擁有先進(jìn)的質(zhì)量分析設(shè)備和配有專用無(wú)塵室的分析實(shí)驗(yàn)室,巴斯夫分析能力和特有工藝通過行業(yè)領(lǐng)先的識(shí)別塵粒計(jì)數(shù)水平方式確保了最佳質(zhì)量。

“目前金屬檢測(cè)水平行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)達(dá)到兆分之五,我們的標(biāo)準(zhǔn)在兆分之一,遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。”言甯璿說(shuō),作為全球領(lǐng)先的電子材料供應(yīng)商,巴斯夫?yàn)殡娮有袠I(yè)提供多種解決方案,包括經(jīng)過高純度先進(jìn)方法加工的特種化學(xué)品組合,以及面向電子行業(yè)的應(yīng)用和定制化解決方案。

文章來(lái)源:科普時(shí)報(bào)


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