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zernike多項(xiàng)式在擬合光學(xué)表面面形中的應(yīng)用及仿真 - 免費(fèi)下載
仿真技術(shù)資源
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光學(xué)鏡面在應(yīng)力作用下會(huì)產(chǎn)生表面形變,先通過(guò)有限元軟件分析后得到鏡面變形數(shù)據(jù),在用zernike多項(xiàng)式精確擬合變形后的鏡面面形,最后計(jì)算出表面變形均方根和表面變形最大值與最小值之差,適用于光學(xué)自由曲面的鏡面面形精度分析
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