光學鏡面在應力作用下會產生表面形變,先通過有限元軟件分析后得到鏡面變形數據,在用zernike多項式精確擬合變形后的鏡面面形,最后計算出表面變形均方根和表面變形最大值與最小值之差,適用于光學自由曲面的鏡面面形精度分析
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