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基于空間光調(diào)制器的能量可控飛秒激光加工

資 源 簡 介

針對飛秒激光微納加工技術(shù)中激光與加工樣品相對運動的控制、聚焦光斑能量的控制中存在的問題,提出一種基于硅基液晶空間光調(diào)制器動態(tài)加載計算全息圖同時控制焦點位置和能量的新型加工方法。該方法通過加載疊加閃耀光柵的全息圖,控制單點運動來掃描加工二維結(jié)構(gòu),無需平臺移動。進一步控制全息圖的挖空區(qū)域,可以調(diào)制入射光斑的能量,進而控制被加工點陣的形貌。利用這一加工效應(yīng),成功實現(xiàn)各種可控環(huán)狀結(jié)構(gòu)的加工,并在光學(xué)顯微鏡下測試達到相應(yīng)效果,證明這種加工方法在飛秒激光微納加工領(lǐng)域具有可行性。

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