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Chemical mechanical polishing

  • 資源大小:1027 K
  • 上傳時間: 2020-06-06
  • 上傳用戶:shancjb
  • 資源積分:2 下載積分
  • 標      簽: mechanical polishing Chemical

資 源 簡 介

The planarization technology of Chemical-Mechanical-Polishing (CMP), used for the manufacturing of multi-
level metal interconnects for high-density Integrated Circuits (IC), is also readily adaptable as an enabling technology
in MicroElectroMechanical Systems (MEMS) fabrication, particularly polysilicon surface micromachining. CMP not
only eases the design and manufacturability of MEMS devices by eliminating several photolithographic and film
issues generated by severe topography, but also enables far greater flexibility with process complexity and associated
designs. T

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