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基于位置敏感探測器的微位移測量關鍵電路設計

資 源 簡 介

位置敏感探測器PSD(Position Sensitive Detector PSD)具有位置分辨精度高(可達1~2 μm)、輸出實時性好(響應時間約幾微秒)、系統簡潔的特點,在位置探測及相關領域內獲得了廣泛的應用;但PSD的輸出信號小,易受到電路噪聲的影響,若要充分發揮其性能,則需要高精度、高穩定度、低噪聲的測量電路。針對PSD這種較高的使用要求,通過對其等效模型的分析,找到了影響位置分辨精度的主要因素,并提出了一種新形式的測量電路,減少了測量電路級數,降低了電路的噪聲以及測量電路內部的漂移,同時具有對位置測量非線性的校正功能。采用上述原理以S1880 PSD建立的位置測量系統的位置分辨達到2~3 μm。

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