MEMS慣性傳感器作為工業應用領用新興的應用元件,不論在商業、工業還是軍工應用上都有著廣闊的應用。文中給出了幾種MEMS的在不同領域內的應用范例,并解析了相應的原理,并從一款較常用的MEMS入手提出了對相應領域內的解決思路。
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