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項(xiàng)目的研究?jī)?nèi)容是對(duì)硅微諧振式加速度計(jì)的數(shù)據(jù)采集電路開展研究工作。硅微諧振式加速度計(jì)敏感結(jié)構(gòu)輸出的是兩路差分的頻率信號(hào)

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項(xiàng)目的研究?jī)?nèi)容是對(duì)硅微諧振式加速度計(jì)的數(shù)據(jù)采集電路開展研究工作。硅微諧振式加速度計(jì)敏感結(jié)構(gòu)輸出的是兩路差分的頻率信號(hào),因此硅微諧振式加速度計(jì)數(shù)據(jù)采集電路完成的主要任務(wù)是測(cè)出兩路頻率信號(hào)的差值。測(cè)量要求是:實(shí)現(xiàn)10ms內(nèi)對(duì)中心諧振頻率為20kHz、標(biāo)度因數(shù)為100Hz/g、量程為±50g、分辨率為1mg的硅微諧振式加速度計(jì)輸出的頻率信號(hào)的測(cè)量,等效測(cè)量誤差為±1mg。電路的控制核心為單片機(jī),具有串行接口以便將測(cè)量結(jié)果傳送給PC機(jī)從而分析、保存測(cè)量結(jié)果。 按研究?jī)?nèi)容設(shè)計(jì)了軟硬件。軟件采用多周期同步法實(shí)現(xiàn)高精度,快速度的頻率測(cè)量方案,并使用CPLD編程實(shí)現(xiàn),這也是最難的地方。硬件采用現(xiàn)在流行的3.3V供電系統(tǒng),選用EPM240T100C5N和較為實(shí)用的AVR單片機(jī)芯片Atmega64L,對(duì)應(yīng)3.3V供電系統(tǒng),串行接口使用MAX3232。 最后完成了PCB板的制作,經(jīng)反復(fù)調(diào)試后得到了非常好的效果。采集的數(shù)據(jù)滿足項(xiàng)目研究?jī)?nèi)容中的要求,當(dāng)提高有源晶振的頻率時(shí),精度有大大提高了,此時(shí)已遠(yuǎn)遠(yuǎn)滿足了項(xiàng)目中高精度,快速度測(cè)量的要求。另外,采用MFC編程編寫了上位機(jī)的數(shù)據(jù)接收和數(shù)據(jù)處理專用軟件,集數(shù)據(jù)采集,運(yùn)算,作圖,保存功能于一體。 此為上位機(jī)程序部分

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