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項目的研究內(nèi)容是對硅微諧振式加速度計的數(shù)據(jù)采集電路開展研究工作。硅微諧振式加速度計敏感結(jié)構(gòu)輸出的是兩路差分的頻率信號

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項目的研究內(nèi)容是對硅微諧振式加速度計的數(shù)據(jù)采集電路開展研究工作。硅微諧振式加速度計敏感結(jié)構(gòu)輸出的是兩路差分的頻率信號,因此硅微諧振式加速度計數(shù)據(jù)采集電路完成的主要任務(wù)是測出兩路頻率信號的差值。測量要求是:實現(xiàn)10ms內(nèi)對中心諧振頻率為20kHz、標度因數(shù)為100Hz/g、量程為±50g、分辨率為1mg的硅微諧振式加速度計輸出的頻率信號的測量,等效測量誤差為±1mg。電路的控制核心為單片機,具有串行接口以便將測量結(jié)果傳送給PC機從而分析、保存測量結(jié)果。 按研究內(nèi)容設(shè)計了軟硬件。軟件采用多周期同步法實現(xiàn)高精度,快速度的頻率測量方案,并使用CPLD編程實現(xiàn),這也是最難的地方。硬件采用現(xiàn)在流行的3.3V供電系統(tǒng),選用EPM240T100C5N和較為實用的AVR單片機芯片Atmega64L,對應3.3V供電系統(tǒng),串行接口使用MAX3232。 最后完成了PCB板的制作,經(jīng)反復調(diào)試后得到了非常好的效果。采集的數(shù)據(jù)滿足項目研究內(nèi)容中的要求,當提高有源晶振的頻率時,精度有大大提高了,此時已遠遠滿足了項目中高精度,快速度測量的要求。另外,采用MFC編程編寫了上位機的數(shù)據(jù)接收和數(shù)據(jù)處理專用軟件,集數(shù)據(jù)采集,運算,作圖,保存功能于一體。 此為上位機程序部分

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