項目的研究內(nèi)容是對硅微諧振式加速度計的數(shù)據(jù)采集電路開展研究工作。硅微諧振式加速度計敏感結(jié)構(gòu)輸出的是兩路差分的頻率信號 - 免費下載

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項目的研究內(nèi)容是對硅微諧振式加速度計的數(shù)據(jù)采集電路開展研究工作。硅微諧振式加速度計敏感結(jié)構(gòu)輸出的是兩路差分的頻率信號，因此硅微諧振式加速度計數(shù)據(jù)采集電路完成的主要任務(wù)是測出兩路頻率信號的差值。測量要求是：實現(xiàn)10ms內(nèi)對中心諧振頻率為20kHz、標度因數(shù)為100Hz/g、量程為±50g、分辨率為1mg的硅微諧振式加速度計輸出的頻率信號的測量，等效測量誤差為±1mg。電路的控制核心為單片機，具有串行接口以便將測量結(jié)果傳送給PC機從而分析、保存測量結(jié)果。按研究內(nèi)容設(shè)計了軟硬件。軟件采用多周期同步法實現(xiàn)高精度，快速度的頻率測量方案，并使用CPLD編程實現(xiàn)，這也是最難的地方。硬件采用現(xiàn)在流行的3.3V供電系統(tǒng)，選用EPM240T100C5N和較為實用的AVR單片機芯片Atmega64L，對應(yīng)3.3V供電系統(tǒng)，串行接口使用MAX3232。最后完成了PCB板的制作，經(jīng)反復調(diào)試后得到了非常好的效果。采集的數(shù)據(jù)滿足項目研究內(nèi)容中的要求，當提高有源晶振的頻率時，精度有大大提高了，此時已遠遠滿足了項目中高精度，快速度測量的要求。另外，采用MFC編程編寫了上位機的數(shù)據(jù)接收和數(shù)據(jù)處理專用軟件，集數(shù)據(jù)采集，運算，作圖，保存功能于一體。此為上位機程序部分

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