隨著現(xiàn)代測控技術(shù)的發(fā)展,在精密測量領(lǐng)域,光柵傳感器在位移和角度測量中的使用越來越廣泛。由于受到光柵刻線工藝的限制,為了提高光柵傳感器的測量精度,往往需要使用電子方法對光柵信號進行細分辨向和計數(shù)。而在實際測...
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