?? 三軸加速度計(jì)技術(shù)資料

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項(xiàng)目的研究?jī)?nèi)容是對(duì)硅微諧振式加速度計(jì)的數(shù)據(jù)采集電路開(kāi)展研究工作。硅微諧振式加速度計(jì)敏感結(jié)構(gòu)輸出的是兩路差分的頻率信號(hào)，因此硅微諧振式加速度計(jì)數(shù)據(jù)采集電路完成的主要任務(wù)是測(cè)出兩路頻率信號(hào)的差值。測(cè)量要求是：實(shí)現(xiàn)10ms內(nèi)對(duì)中心諧振頻率為20kHz、標(biāo)度因數(shù)為100Hz/g、量程為±50g、分辨率為1m...

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