?? 復制技術技術資料

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本書集作者多年來的實踐經(jīng)驗與研究成果，系統(tǒng)地介紹了微納米加工技術的基礎，包括光學曝光技術、電子束曝光技術、聚焦離子束加工技術、X射線曝光技術、各種刻蝕技術和微納米尺度的復制技術，對各種加工技術著重講清原理，列舉基本的工藝步驟，說明各種工藝條件的由來，并注意給出典型上藝參數(shù)，充分分析了各種技術的優(yōu)缺點...

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