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微納米加工技術(shù)

  • GB-T4677.2-1984-印制板金屬化孔鍍層厚度測(cè)試方法-微電阻法.pdf

    專(zhuān)輯類(lèi)-國(guó)標(biāo)類(lèi)相關(guān)專(zhuān)輯-313冊(cè)-701M GB-T4677.2-1984-印制板金屬化孔鍍層厚度測(cè)試方法-微電阻法.pdf

    標(biāo)簽: 4677.2 GB-T 1984

    上傳時(shí)間: 2013-04-24

    上傳用戶(hù):ruixue198909

  • 網(wǎng)絡(luò)奇技贏巧大搜捕.pdf

    專(zhuān)輯類(lèi)-網(wǎng)絡(luò)及電腦相關(guān)專(zhuān)輯-114冊(cè)-4.31G 網(wǎng)絡(luò)奇技贏巧大搜捕.pdf

    標(biāo)簽: 網(wǎng)絡(luò)

    上傳時(shí)間: 2013-07-25

    上傳用戶(hù):小寶愛(ài)考拉

  • 微星865PE-Neo2-V主板使用手冊(cè)-SC6788v2.0.pdf

    專(zhuān)輯類(lèi)-網(wǎng)絡(luò)及電腦相關(guān)專(zhuān)輯-114冊(cè)-4.31G 微星865PE-Neo2-V主板使用手冊(cè)-SC6788v2.0.pdf

    標(biāo)簽: PE-Neo 6788 865

    上傳時(shí)間: 2013-04-24

    上傳用戶(hù):dreamboy36

  • 靜電梳齒結(jié)構(gòu)的MEMS分析和優(yōu)化設(shè)計(jì).rar

    微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件的構(gòu)成涉及微電子、微機(jī)械、微動(dòng)力、微熱力、微流體學(xué)、材料、物理、化學(xué)、生物等多個(gè)領(lǐng)域,形成了多能量域并交叉耦合。為其產(chǎn)品的建模、仿真以及優(yōu)化設(shè)計(jì)帶來(lái)了較大的難度。由于靜電驅(qū)動(dòng)的原理簡(jiǎn)單使其成為MEMS器件中機(jī)械動(dòng)作的主要來(lái)源。而梳齒結(jié)構(gòu)在MEMS器件中有廣泛的應(yīng)用:微諧振器、微機(jī)械加速度計(jì)、微機(jī)械陀螺儀、微鏡、微鑷、微泵等。所以做為MEMS的重要驅(qū)動(dòng)方式和結(jié)構(gòu)形式,靜電驅(qū)動(dòng)梳齒結(jié)構(gòu)MEMS器件的耦合場(chǎng)仿真分析以及優(yōu)化設(shè)計(jì)對(duì)MEMS的開(kāi)發(fā)具有很重要的意義。本課題的研究對(duì)靜電驅(qū)動(dòng)梳齒結(jié)構(gòu)MEMS器件的設(shè)計(jì)具有較大的理論研究意義。 本文的研究工作主要包括以下幾個(gè)方面: 1、采用降階宏建模技術(shù)快速求解靜電梳齒驅(qū)動(dòng)器靜電-結(jié)構(gòu)耦合問(wèn)題,降階建模被用于表示微諧振器的靜態(tài)動(dòng)態(tài)特性。論文采用降階建模方法詳細(xì)分析了靜電梳齒驅(qū)動(dòng)器的各參數(shù)對(duì)所產(chǎn)生靜電力以及驅(qū)動(dòng)位移的關(guān)系;并對(duì)靜電梳齒驅(qū)動(dòng)器梳齒電容結(jié)構(gòu)的靜電場(chǎng)進(jìn)行分析和模擬,深入討論了邊緣效應(yīng)的影響;還對(duì)微諧振器動(dòng)態(tài)特性的各個(gè)模態(tài)進(jìn)行仿真分析,并計(jì)算分析了前六階模態(tài)的頻率和諧振幅值。仿真結(jié)果表明降階建模方法能夠快速、準(zhǔn)確地實(shí)現(xiàn)多耦合域的求解。 2、從系統(tǒng)角度出發(fā)考慮了各個(gè)子系統(tǒng)對(duì)叉指式微機(jī)械陀螺儀特性的影響,系統(tǒng)詳細(xì)地分析了與叉指狀微機(jī)械陀螺儀性能指標(biāo)-靈敏度密切相關(guān)的結(jié)構(gòu)特性、電子電路、加工工藝和空氣阻尼,并在此分析的基礎(chǔ)上建立了陀螺的統(tǒng)一多學(xué)科優(yōu)化模型并對(duì)其進(jìn)行多學(xué)科優(yōu)化設(shè)計(jì)。將遺傳算法和差分進(jìn)化算法的全局尋優(yōu)與陀螺儀系統(tǒng)級(jí)優(yōu)化相結(jié)合,證實(shí)了遺傳算法和差分進(jìn)化算法在MEMS系統(tǒng)級(jí)優(yōu)化中的可行性,并比較遺傳算法和差分進(jìn)化算法的優(yōu)化結(jié)果,差分進(jìn)化算法的優(yōu)化結(jié)果較大地改善了器件的性能。 3、從系統(tǒng)角度出發(fā)考慮了各個(gè)子系統(tǒng)對(duì)梳齒式微加速度計(jì)特性的影響,在對(duì)梳齒式微加速度計(jì)各個(gè)學(xué)科的設(shè)計(jì)要素進(jìn)行分析的基礎(chǔ)上,對(duì)各個(gè)子系統(tǒng)分別建立相對(duì)獨(dú)立的優(yōu)化模型,采用差分進(jìn)化算法和多目標(biāo)遺傳算法對(duì)其進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)。證實(shí)了差分進(jìn)化算法和多目標(biāo)遺傳算法對(duì)多個(gè)子系統(tǒng)耦合的系統(tǒng)級(jí)優(yōu)化的可行性,并比較了將多目標(biāo)轉(zhuǎn)換為單目標(biāo)進(jìn)行優(yōu)化和采用多目標(biāo)進(jìn)行優(yōu)化的區(qū)別和結(jié)果,優(yōu)化結(jié)果使器件的性能得到了改善。

    標(biāo)簽: MEMS 靜電

    上傳時(shí)間: 2013-05-15

    上傳用戶(hù):zhangjinzj

  • 基于ARM的嵌入式機(jī)床數(shù)控系統(tǒng)的研究

    數(shù)控機(jī)床是現(xiàn)代制造系統(tǒng)的基礎(chǔ)和核心,而先進(jìn)的數(shù)控技術(shù)是解決機(jī)床制造業(yè)持續(xù)發(fā)展的關(guān)鍵。隨著嵌入式系統(tǒng)、微計(jì)算機(jī)技術(shù)和集成電路的迅速發(fā)展,高性能的32位CUP開(kāi)始普及。它執(zhí)行速度快、功能強(qiáng)大,在中、低檔數(shù)控系統(tǒng)中已經(jīng)完全可以替代PC機(jī)及8位單片機(jī),獲得更大的價(jià)格和技術(shù)優(yōu)勢(shì)。本文旨在打破傳統(tǒng)基于PC機(jī)及8位單片機(jī)的數(shù)控系統(tǒng),研究并設(shè)計(jì)一種基于ARM的32位嵌入式機(jī)床數(shù)控系統(tǒng)。 本文設(shè)計(jì)了基于ARM內(nèi)核的嵌入式機(jī)床數(shù)控系統(tǒng),并給出了硬件設(shè)計(jì)方案、軟件程序設(shè)計(jì)思想及相應(yīng)設(shè)計(jì)。硬件部分選用是日本NOVA電子有限公司研制的DSP運(yùn)動(dòng)控制專(zhuān)用芯片MCX314AL,作為數(shù)控裝置電機(jī)的驅(qū)動(dòng)芯片,其性能優(yōu)良、接口簡(jiǎn)單、編程方便、工作可靠,給運(yùn)動(dòng)控制帶來(lái)極大方便。采用ARM微處理器STR710負(fù)責(zé)控制MCX314AL、外圍邏輯電路的管理及后臺(tái)任務(wù)的實(shí)現(xiàn)。系統(tǒng)軟件平臺(tái)采用源代碼公開(kāi)的嵌入式實(shí)時(shí)操作系統(tǒng)uC/OS-Ⅱ,對(duì)數(shù)控系統(tǒng)軟件模塊的任務(wù)進(jìn)行劃分,并根據(jù)其實(shí)時(shí)性要求賦予不同優(yōu)先級(jí),采用基于優(yōu)先級(jí)的搶占式調(diào)度算法,設(shè)計(jì)了任務(wù)間的通信方式及中斷事件的響應(yīng),使該數(shù)控系統(tǒng)具有良好的實(shí)時(shí)性和穩(wěn)定性,可以滿(mǎn)足高精度加工的要求,同時(shí)也具有良好的人機(jī)界面和網(wǎng)絡(luò)支持。

    標(biāo)簽: ARM 嵌入式 機(jī)床 數(shù)控系統(tǒng)

    上傳時(shí)間: 2013-05-25

    上傳用戶(hù):mylinden

  • 基于微加速度計(jì)的低功耗無(wú)線(xiàn)慣性鼠標(biāo)的設(shè)計(jì)Design of wireless inertial mouse based on micro-accelerometer

    提出了一種基于微加速度計(jì)的無(wú)線(xiàn)慣性鼠標(biāo)的設(shè)計(jì)方案。該方案以微加速度計(jì)ADXL213 作為信號(hào)檢測(cè)元件,并采用低功耗處理器MSP430F135 和RF 芯片nRF401 進(jìn)行信號(hào)處

    標(biāo)簽: micro-accelerometer inertial wireless Design

    上傳時(shí)間: 2013-04-24

    上傳用戶(hù):AbuGe

  • 光纖位移傳感器在微位移測(cè)量中的應(yīng)用研究

    設(shè)計(jì)了一種測(cè)量微位移的光纖位移傳感器, 得到了傳感器的位移2相位變化關(guān)系, 通過(guò)相位檢出, 獲得了微位移量。分析表明, 光纖位移傳感器能夠滿(mǎn)足微位移測(cè)量的要求。關(guān)鍵詞: 光纖傳感器; 微位移;

    標(biāo)簽: 光纖位移 傳感器 中的應(yīng)用 微位移

    上傳時(shí)間: 2013-07-25

    上傳用戶(hù):csgcd001

  • DS5250中文資料 (高速安全微控制器)

    DS5250是Maxim安全微控制器系列中的一款高度安全、4時(shí)鐘每機(jī)器周期、100%兼容8051指令集的微控制器。DS5250設(shè)計(jì)用作加密引擎,應(yīng)用于密碼鍵盤(pán)、金融終端及其它數(shù)據(jù)安全性較高的應(yīng)用。該器

    標(biāo)簽: 5250 DS 安全微控制器

    上傳時(shí)間: 2013-06-02

    上傳用戶(hù):daoxiang126

  • STM32系列ARMCortexM3微控制器原理與實(shí)踐

    STM32系列ARMCortexM3微控制器原理與實(shí)踐

    標(biāo)簽: ARMCortexM3 STM 32 微控制器

    上傳時(shí)間: 2013-07-22

    上傳用戶(hù):希醬大魔王

  • Motorola微控制器MC68HC08原理及其嵌入式應(yīng)用

    ·Motorola微控制器MC68HC08原理及其嵌入式應(yīng)用  劉慧銀等編著/清華大學(xué)出版社/321頁(yè)/2001年8月出版

    標(biāo)簽: Motorola MC 68 08

    上傳時(shí)間: 2013-06-11

    上傳用戶(hù):shawvi

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