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微納米加工技術(shù)

  • GB-T4677.2-1984-印制板金屬化孔鍍層厚度測試方法-微電阻法.pdf

    專輯類-國標類相關(guān)專輯-313冊-701M GB-T4677.2-1984-印制板金屬化孔鍍層厚度測試方法-微電阻法.pdf

    標簽: 4677.2 GB-T 1984

    上傳時間: 2013-04-24

    上傳用戶:ruixue198909

  • 網(wǎng)絡(luò)奇技贏巧大搜捕.pdf

    專輯類-網(wǎng)絡(luò)及電腦相關(guān)專輯-114冊-4.31G 網(wǎng)絡(luò)奇技贏巧大搜捕.pdf

    標簽: 網(wǎng)絡(luò)

    上傳時間: 2013-07-25

    上傳用戶:小寶愛考拉

  • 微星865PE-Neo2-V主板使用手冊-SC6788v2.0.pdf

    專輯類-網(wǎng)絡(luò)及電腦相關(guān)專輯-114冊-4.31G 微星865PE-Neo2-V主板使用手冊-SC6788v2.0.pdf

    標簽: PE-Neo 6788 865

    上傳時間: 2013-04-24

    上傳用戶:dreamboy36

  • 靜電梳齒結(jié)構(gòu)的MEMS分析和優(yōu)化設(shè)計.rar

    微機電系統(tǒng)(MEMS)器件的構(gòu)成涉及微電子、微機械、微動力、微熱力、微流體學、材料、物理、化學、生物等多個領(lǐng)域,形成了多能量域并交叉耦合。為其產(chǎn)品的建模、仿真以及優(yōu)化設(shè)計帶來了較大的難度。由于靜電驅(qū)動的原理簡單使其成為MEMS器件中機械動作的主要來源。而梳齒結(jié)構(gòu)在MEMS器件中有廣泛的應(yīng)用:微諧振器、微機械加速度計、微機械陀螺儀、微鏡、微鑷、微泵等。所以做為MEMS的重要驅(qū)動方式和結(jié)構(gòu)形式,靜電驅(qū)動梳齒結(jié)構(gòu)MEMS器件的耦合場仿真分析以及優(yōu)化設(shè)計對MEMS的開發(fā)具有很重要的意義。本課題的研究對靜電驅(qū)動梳齒結(jié)構(gòu)MEMS器件的設(shè)計具有較大的理論研究意義。 本文的研究工作主要包括以下幾個方面: 1、采用降階宏建模技術(shù)快速求解靜電梳齒驅(qū)動器靜電-結(jié)構(gòu)耦合問題,降階建模被用于表示微諧振器的靜態(tài)動態(tài)特性。論文采用降階建模方法詳細分析了靜電梳齒驅(qū)動器的各參數(shù)對所產(chǎn)生靜電力以及驅(qū)動位移的關(guān)系;并對靜電梳齒驅(qū)動器梳齒電容結(jié)構(gòu)的靜電場進行分析和模擬,深入討論了邊緣效應(yīng)的影響;還對微諧振器動態(tài)特性的各個模態(tài)進行仿真分析,并計算分析了前六階模態(tài)的頻率和諧振幅值。仿真結(jié)果表明降階建模方法能夠快速、準確地實現(xiàn)多耦合域的求解。 2、從系統(tǒng)角度出發(fā)考慮了各個子系統(tǒng)對叉指式微機械陀螺儀特性的影響,系統(tǒng)詳細地分析了與叉指狀微機械陀螺儀性能指標-靈敏度密切相關(guān)的結(jié)構(gòu)特性、電子電路、加工工藝和空氣阻尼,并在此分析的基礎(chǔ)上建立了陀螺的統(tǒng)一多學科優(yōu)化模型并對其進行多學科優(yōu)化設(shè)計。將遺傳算法和差分進化算法的全局尋優(yōu)與陀螺儀系統(tǒng)級優(yōu)化相結(jié)合,證實了遺傳算法和差分進化算法在MEMS系統(tǒng)級優(yōu)化中的可行性,并比較遺傳算法和差分進化算法的優(yōu)化結(jié)果,差分進化算法的優(yōu)化結(jié)果較大地改善了器件的性能。 3、從系統(tǒng)角度出發(fā)考慮了各個子系統(tǒng)對梳齒式微加速度計特性的影響,在對梳齒式微加速度計各個學科的設(shè)計要素進行分析的基礎(chǔ)上,對各個子系統(tǒng)分別建立相對獨立的優(yōu)化模型,采用差分進化算法和多目標遺傳算法對其進行優(yōu)化設(shè)計。證實了差分進化算法和多目標遺傳算法對多個子系統(tǒng)耦合的系統(tǒng)級優(yōu)化的可行性,并比較了將多目標轉(zhuǎn)換為單目標進行優(yōu)化和采用多目標進行優(yōu)化的區(qū)別和結(jié)果,優(yōu)化結(jié)果使器件的性能得到了改善。

    標簽: MEMS 靜電

    上傳時間: 2013-05-15

    上傳用戶:zhangjinzj

  • 基于ARM的嵌入式機床數(shù)控系統(tǒng)的研究

    數(shù)控機床是現(xiàn)代制造系統(tǒng)的基礎(chǔ)和核心,而先進的數(shù)控技術(shù)是解決機床制造業(yè)持續(xù)發(fā)展的關(guān)鍵。隨著嵌入式系統(tǒng)、微計算機技術(shù)和集成電路的迅速發(fā)展,高性能的32位CUP開始普及。它執(zhí)行速度快、功能強大,在中、低檔數(shù)控系統(tǒng)中已經(jīng)完全可以替代PC機及8位單片機,獲得更大的價格和技術(shù)優(yōu)勢。本文旨在打破傳統(tǒng)基于PC機及8位單片機的數(shù)控系統(tǒng),研究并設(shè)計一種基于ARM的32位嵌入式機床數(shù)控系統(tǒng)。 本文設(shè)計了基于ARM內(nèi)核的嵌入式機床數(shù)控系統(tǒng),并給出了硬件設(shè)計方案、軟件程序設(shè)計思想及相應(yīng)設(shè)計。硬件部分選用是日本NOVA電子有限公司研制的DSP運動控制專用芯片MCX314AL,作為數(shù)控裝置電機的驅(qū)動芯片,其性能優(yōu)良、接口簡單、編程方便、工作可靠,給運動控制帶來極大方便。采用ARM微處理器STR710負責控制MCX314AL、外圍邏輯電路的管理及后臺任務(wù)的實現(xiàn)。系統(tǒng)軟件平臺采用源代碼公開的嵌入式實時操作系統(tǒng)uC/OS-Ⅱ,對數(shù)控系統(tǒng)軟件模塊的任務(wù)進行劃分,并根據(jù)其實時性要求賦予不同優(yōu)先級,采用基于優(yōu)先級的搶占式調(diào)度算法,設(shè)計了任務(wù)間的通信方式及中斷事件的響應(yīng),使該數(shù)控系統(tǒng)具有良好的實時性和穩(wěn)定性,可以滿足高精度加工的要求,同時也具有良好的人機界面和網(wǎng)絡(luò)支持。

    標簽: ARM 嵌入式 機床 數(shù)控系統(tǒng)

    上傳時間: 2013-05-25

    上傳用戶:mylinden

  • 基于微加速度計的低功耗無線慣性鼠標的設(shè)計Design of wireless inertial mouse based on micro-accelerometer

    提出了一種基于微加速度計的無線慣性鼠標的設(shè)計方案。該方案以微加速度計ADXL213 作為信號檢測元件,并采用低功耗處理器MSP430F135 和RF 芯片nRF401 進行信號處

    標簽: micro-accelerometer inertial wireless Design

    上傳時間: 2013-04-24

    上傳用戶:AbuGe

  • 光纖位移傳感器在微位移測量中的應(yīng)用研究

    設(shè)計了一種測量微位移的光纖位移傳感器, 得到了傳感器的位移2相位變化關(guān)系, 通過相位檢出, 獲得了微位移量。分析表明, 光纖位移傳感器能夠滿足微位移測量的要求。關(guān)鍵詞: 光纖傳感器; 微位移;

    標簽: 光纖位移 傳感器 中的應(yīng)用 微位移

    上傳時間: 2013-07-25

    上傳用戶:csgcd001

  • DS5250中文資料 (高速安全微控制器)

    DS5250是Maxim安全微控制器系列中的一款高度安全、4時鐘每機器周期、100%兼容8051指令集的微控制器。DS5250設(shè)計用作加密引擎,應(yīng)用于密碼鍵盤、金融終端及其它數(shù)據(jù)安全性較高的應(yīng)用。該器

    標簽: 5250 DS 安全微控制器

    上傳時間: 2013-06-02

    上傳用戶:daoxiang126

  • STM32系列ARMCortexM3微控制器原理與實踐

    STM32系列ARMCortexM3微控制器原理與實踐

    標簽: ARMCortexM3 STM 32 微控制器

    上傳時間: 2013-07-22

    上傳用戶:希醬大魔王

  • Motorola微控制器MC68HC08原理及其嵌入式應(yīng)用

    ·Motorola微控制器MC68HC08原理及其嵌入式應(yīng)用  劉慧銀等編著/清華大學出版社/321頁/2001年8月出版

    標簽: Motorola MC 68 08

    上傳時間: 2013-06-11

    上傳用戶:shawvi

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