摘要:設計并制作了一種基于溫度梯度驅動的液滴傳輸芯片,以實現對微液滴傳輸的精確控制.介紹了驅動原理和工藝流程,分析了仿真和實驗結果.該芯片利用溫度梯度下液滴表面形成的表面張力梯度來傳輸液滴,采用玻璃作為襯底,Ti為電阻加熱器,Au為電極,PECVD氧化硅為介質層,碳氟聚合物為疏水層,實現了器件制作.芯片采用開放式結構,制作工藝簡單,操作方便.測試結果表明,驅動功率為0.38W時,去離子水和硅油的傳輸速率分別達到0.1mm燉s和1mm燉s.關鍵詞:微液滴;溫度梯度;表面張力梯度;電阻加熱器;開放式結構
標簽:
溫度
梯度驅動
傳輸
上傳時間:
2013-10-29
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