隨著科學(xué)水平的提高，生物、化學(xué)以及醫(yī)療相關(guān)器械領(lǐng)域?qū)纫笠苍诓粩嗟靥嵘?生物制劑提取、注射，化學(xué)藥品傳輸供給以及藥物治療等MEMS的研究不單單是對精密儀器的攻堅(jiān)克難，更是交叉學(xué)科賦予高精密儀器研究發(fā)展的難題。技術(shù)革新便要理論創(chuàng)新，才能突破現(xiàn)有技術(shù)發(fā)展的瓶頸?，F(xiàn)有的壓電超聲波霧化器理論發(fā)展已頗具成熟，產(chǎn)業(yè)化發(fā)展也甚是豐富，可是由于產(chǎn)品的不斷創(chuàng)新?lián)Q代，同時(shí)也導(dǎo)致理論創(chuàng)新的不同步，致使許多創(chuàng)新產(chǎn)品缺少對應(yīng)的系統(tǒng)理論支持。本文立足微泵型壓電超聲波霧化器的研究，提出了系統(tǒng)的霧化理論、結(jié)構(gòu)仿真和霧化效果實(shí)驗(yàn)研究。本文主要的研究內(nèi)容和成果如下：在霧化理論分析方面，通過對霧化片金屬基片和錐孔的變形公式推導(dǎo)分析，建立了微泵型壓電超聲波霧化器霧化理論數(shù)學(xué)模型，并結(jié)合變形分析對其霧化機(jī)理進(jìn)行了完整的闡述在有限元仿真分析計(jì)算方面，通過對霧化片簡化建模，進(jìn)行了霧化片的諾響應(yīng)計(jì)算分析，得出霧化片諾響應(yīng)工作模態(tài)及其相應(yīng)振型。并結(jié)合霧化理論分析了各模態(tài)相應(yīng)霧化效果，提出霧化效果改進(jìn)意見。在霧化效果實(shí)驗(yàn)方面，進(jìn)行多普莉激光測振實(shí)驗(yàn)，與諾響應(yīng)仿真計(jì)算相互論證，提高其可行性，并通過霧化效果實(shí)驗(yàn)來驗(yàn)證霧化效果理論分析結(jié)果，最后結(jié)合仿真計(jì)算和多普勒激光測振結(jié)果綜合分析、總結(jié)出霧化效果的影響因素。關(guān)鍵詞：MEMS，壓電泵，超聲波，霧化器，壓電陶瓷，振型。本文工作在機(jī)械結(jié)構(gòu)力學(xué)及控制國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室完成。
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超聲波霧化器
上傳時(shí)間：
2022-06-18
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