本書集作者多年來的實踐經(jīng)驗與研究成果，系統(tǒng)地介紹了微納米加工技術(shù)的基礎(chǔ)，包括光學(xué)曝光技術(shù)、電子束曝光技術(shù)、聚焦離子束加工技術(shù)、X射線曝光技術(shù)、各種刻蝕技術(shù)和微納米尺度的復(fù)制技術(shù)，對各種加工技術(shù)著重講清原理，列舉基本的工藝步驟，說明各種工藝條件的由來，并注意給出典型上藝參數(shù)，充分分析了各種技術(shù)的優(yōu)缺點及在應(yīng)用過程過程中的注意事項，全書強調(diào)實用，避免煩瑣的數(shù)學(xué)分析，既注重基礎(chǔ)知識又兼顧微納米加工領(lǐng)域近年來的最新進展及在各高科技鎖域的應(yīng)用，并列舉了相關(guān)參考文獻供進一步深入研究，因此不論是對初次涉足這一領(lǐng)域的大專院校的本科生或研究生,還是對已經(jīng)有一定工作經(jīng)驗的專業(yè)科技人員，都具有很好的參考價值。
標簽：
微納米加工技術(shù)
上傳時間：
2022-07-10
上傳用戶：d1997wayne
