對基于BCB的圓片級封裝工藝進行了研究，該工藝代表了MEMS加速度計傳感器封裝的發展趨勢，是MEMS加速度計產業化的關鍵。選用3000系列BCB材料進行MEMS傳感器的粘結鍵合工藝試驗，解決了圓片級封裝問題，在低溫250 ℃和適當壓力輔助下≤2.5 bar（1 bar=100 kPa）實現了加速度計的圓片級封裝，并對相關的旋涂、鍵合、氣氛、壓力等諸多工藝參數進行了優化。
資源簡介： 對基于BCB的圓片級封裝工藝進行了研究，該工藝代表了MEMS加速度計傳感器封裝的發展趨勢，是MEMS加速度計產業化的關鍵。選用3000系列BCB材料進行MEMS傳感器的粘結鍵合工藝試驗，解決了圓片級封裝問題，在低溫250 ℃和適當壓力輔助下≤2.5 bar（1 bar=100 k...
上傳時間： 2013-11-17
上傳用戶：JasonC
資源簡介：選用4000系列BCB材料進行MEMS傳感器的粘接鍵合工藝試驗，解決了圓片級封裝問題，采用該技術成功加工出具有三層結構的圓片級封裝某種慣性壓阻類傳感器。依據標準GJB548A對其進行了剪切強度和檢漏測試，測得封裝樣品漏率小于5×10pa·cm3／s，鍵合強度大于49 N...
上傳時間： 2016-07-26
上傳用戶：leishenzhichui
資源簡介：提出一種基于單片機AT89S52控制的數字頻率計的設計新方法。該方法將待測頻率信號經過整形放大后輸入單片機，然后由單片機控制內部計數器分別對待測信號和標準信號同時計數，再經運算處理得到測量結果，可自動量程轉換，并由1602ALED顯示器實時顯示。該設計與...
上傳時間： 2013-10-22
上傳用戶：erkuizhang
資源簡介：一高效基于主鍵值的文件型數據庫
上傳時間： 2013-12-25
上傳用戶：busterman
資源簡介：此程序基于gw48開發系統的實驗頻率計，無需修改即可編譯運行。其他平臺稍加修改同樣適用
上傳時間： 2013-12-19
上傳用戶：erkuizhang
資源簡介：基于曲線擬合的筆跡存儲和繪制方法的研究.
上傳時間： 2016-10-02
上傳用戶：siguazgb
資源簡介：基于曲線擬合的頻率特性測試方法研究，采用Multitone信號作為測試信號。
上傳時間： 2014-12-20
上傳用戶：asasasas
資源簡介：文檔為基于ARM7及uClinux的電子智能計步器的設計總結文檔，是一份不錯的參考資料，感興趣的可以下載看看，，，，，，，，，，，，，
上傳時間： 2022-06-25
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資源簡介：ADIADXL362微功耗三軸MEMS加速度計解決方案? ? ? ? ? ? ? ??
上傳時間： 2022-07-05
上傳用戶：canderile
資源簡介：基于有限單元法的三角剖分圓的MATLAB程序
上傳時間： 2016-05-26
上傳用戶：zgu489
資源簡介：結合典型的焊料鍵合MEMS真空封裝工藝，應用真空物理的相關理論，建立了封裝腔體的真空度與氣體吸附和解吸、氣體的滲透、材料的蒸氣壓、氣體通過小孔的流動等的數學模型，確定了其數值模擬的算法．通過實驗初步驗證了模擬結果的準確性，分析了毛細孔尺寸對腔體...
上傳時間： 2016-07-26
上傳用戶：leishenzhichui
資源簡介：ADXL345是ADI公司生產的一款超低功耗3軸加速度計，廣泛應用于手機、醫療儀器、游戲和定點設備、工業儀器儀表及個人導航設備領域，他的分 辨率高達13位，測量范圍達± 16g。數字輸出數據為16位二進制補碼格式，可通過SPI(3線或4線)或I2C數字接口訪問。ADXL345...
上傳時間： 2013-11-07
上傳用戶：moerwang
資源簡介：LSM6DS3 是系統級封裝的 3D 數字加速度計和 3D 數字陀螺儀，具有數字 I2C/SPI 串口標準輸出，在組合正常工作模式下 6 軸功耗 0.9 mA，在組合高性能工作模式下 6 軸功耗 1.25mA （數據輸出速率可達到 1.6 kHz）。由于陀螺儀和加速度計均具有超低噪聲性能，始終...
上傳時間： 2021-11-13
上傳用戶：wangshoupeng199
資源簡介：多項式擬合的一個小例子，入門級的。好懂。
上傳時間： 2016-08-31
上傳用戶：chenxichenyue
資源簡介：提出了一種基于微加速度計的無線慣性鼠標的設計方案。該方案以微加速度計ADXL213 作為信號檢測元件,并采用低功耗處理器MSP430F135 和RF 芯片nRF401 進行信號處
上傳時間： 2013-04-24
上傳用戶：AbuGe
資源簡介：這是基于在linux系統下基于PXA255平臺的加速度計的驅動程序以及加速度計的測試程序。
上傳時間： 2016-12-30
上傳用戶：wcl168881111111
資源簡介：用于MEMS芯片封蓋保護的金-硅鍵合新結構，與器件制造工藝兼容!鍵合溫度低!有足夠的鍵合強度，不損壞器件結構，實現了MEMS器件的芯片級封裝。
上傳時間： 2016-07-26
上傳用戶：leishenzhichui
資源簡介：MEMS的加速度計-陀螺儀的原理詳解
上傳時間： 2022-07-01
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資源簡介：基于單片機的數字頻率計的設計
上傳時間： 2013-06-16
上傳用戶：eeworm
資源簡介：專輯類-單片機專輯-258冊-4.20G 基于單片機的數字頻率計的設計-68頁-0.7M.pdf
上傳時間： 2013-07-09
上傳用戶：nbdedu
資源簡介：微機電系統（MEMS）器件的構成涉及微電子、微機械、微動力、微熱力、微流體學、材料、物理、化學、生物等多個領域，形成了多能量域并交叉耦合。為其產品的建模、仿真以及優化設計帶來了較大的難度。由于靜電驅動的原理簡單使其成為MEMS器件中機械動作的主要來...
上傳時間： 2013-05-15
上傳用戶：zhangjinzj
資源簡介：基于51單片機的120MHz頻率計原理圖，8個數碼管使用7219作為驅動，單片機采用89C2051。
上傳時間： 2013-05-15
上傳用戶：13913148949
資源簡介：基于51單片機的數字頻率計,里面有源代碼與proteus仿真模型，可以作為學習參考之用^_^
上傳時間： 2013-07-03
上傳用戶：akk13
資源簡介：基于FPGA的數字頻率計的設計11利用VHDL 硬件描述語言設計,并在EDA(電子設計自動化) 工具的幫助下,用大規模可編程邏輯器件(FPGA/ CPLD) 實現數字頻率計的設計原理及相關程序
上傳時間： 2013-08-06
上傳用戶：taozhihua1314
資源簡介：項目的研究內容是對硅微諧振式加速度計的數據采集電路開展研究工作。硅微諧振式加速度計敏感結構輸出的是兩路差分的頻率信號，因此硅微諧振式加速度計數據采集電路完成的主要任務是測出兩路頻率信號的差值。測量要求是：實現10ms內對中心諧振頻率為20kHz、標...
上傳時間： 2013-08-11
上傳用戶：csgcd001
資源簡介：用vhdl編寫的基于fpga的數字頻率計程序算法
上傳時間： 2013-09-07
上傳用戶：chfanjiang
資源簡介：對于采用MEMS加速度計和陀螺儀的工業系統而言，優化帶寬可能是關鍵考慮因素。這代表著精度(噪聲)與響應時間之間的一種經典權衡。雖然多數MEMS傳感器制造商都會給出典型帶寬指標，往往還需要驗證傳感器或整個系統的實際帶寬。在確定加速度計和陀螺儀的帶寬特性...
上傳時間： 2013-11-01
上傳用戶：王小奇
資源簡介：通過單個加速度計增強計步器的性能
上傳時間： 2013-10-17
上傳用戶：jcljkh
資源簡介：基于51單片機的數字頻率計資料
上傳時間： 2014-12-24
上傳用戶：cylnpy
資源簡介：基于nRF24L01的無線加速度傳感器在振動監測中的應用
上傳時間： 2014-12-25
上傳用戶：gdgzhym
