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半導(dǎo)體制造工藝基礎(chǔ)

資 源 簡(jiǎn) 介

《半導(dǎo)體制造工藝基礎(chǔ)》介紹了從晶體生長(zhǎng)到集成器件和電路的完整的半導(dǎo)體制造技術(shù),其中包括制造流程中主要步驟的理論和實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)。《半導(dǎo)體制造工藝基礎(chǔ)》適合于物理、化學(xué)、電子工程、化學(xué)工程和材料科學(xué)等專業(yè)本科高年級(jí)或碩士研究生一年級(jí)學(xué)生《集成電路制造》課程的教學(xué)。該課程授課時(shí)間為一個(gè)學(xué)期,不要求必須開設(shè)相應(yīng)的實(shí)驗(yàn)課。同時(shí),《半導(dǎo)體制造工藝基礎(chǔ)》也可供在半導(dǎo)體工業(yè)領(lǐng)域工作的工程師和科學(xué)家參考。

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