位置敏感探測器PSD(Position Sensitive Detector PSD)具有位置分辨精度高(可達(dá)1~2 μm)、輸出實(shí)時(shí)性好(響應(yīng)時(shí)間約幾微秒)、系統(tǒng)簡潔的特點(diǎn),在位置探測及相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)獲得了廣泛的應(yīng)用;但PSD的輸出信號小,易受到電路噪聲的影響,若要充分發(fā)揮其性能,則需要高精度、高穩(wěn)定度、低噪聲的測量電路。針對PSD這種較高的使用要求,通過對其等效模型的分析,找到了影響位置分辨精度的主要因素,并提出了一種新形式的測量電路,減少了測量電路級數(shù),降低了電路的噪聲以及測量電路內(nèi)部的漂移,同時(shí)具有對位置測量非線性的校正功能。采用上述原理以S1880 PSD建立的位置測量系統(tǒng)的位置分辨達(dá)到2~3 μm。
標(biāo)簽:
敏感探測器
微位移
測量
電路設(shè)計(jì)
上傳時(shí)間:
2013-11-06
上傳用戶:skhlm