針對飛秒激光微納加工技術(shù)中激光與加工樣品相對運動的控制、聚焦光斑能量的控制中存在的問題，提出一種基于硅基液晶空間光調(diào)制器動態(tài)加載計算全息圖同時控制焦點位置和能量的新型加工方法。該方法通過加載疊加閃耀光柵的全息圖，控制單點運動來掃描加工二維結(jié)構(gòu)，無需平臺移動。進一步控制全息圖的挖空區(qū)域，可以調(diào)制入射光斑的能量，進而控制被加工點陣的形貌。利用這一加工效應，成功實現(xiàn)各種可控環(huán)狀結(jié)構(gòu)的加工，并在光學顯微鏡下測試達到相應效果，證明這種加工方法在飛秒激光微納加工領(lǐng)域具有可行性。
標簽：
空間光調(diào)制器
激光加工
能量
上傳時間：
2019-02-22
上傳用戶：yuchen1019
