?? 微位移技術(shù)資料

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　　為了正確反映基于光電位置敏感器(PSD)的微位移傳感器的特性，首先介紹了一維光電位置敏感器的工作原理并分析了利用PSD結(jié)合光學(xué)三角測(cè)量法將位移信號(hào)轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)的工作原理，得出基于PSD的微位移傳感器被測(cè)試件位移量與相關(guān)測(cè)量電路輸出電壓(S，V)關(guān)系特征，然后基于最小二乘估計(jì)算法基本原理， ...

?? ?? R50974

位置敏感探測(cè)器PSD（Position Sensitive Detector PSD）具有位置分辨精度高（可達(dá)1～2 μm）、輸出實(shí)時(shí)性好（響應(yīng)時(shí)間約幾微秒）、系統(tǒng)簡(jiǎn)潔的特點(diǎn)，在位置探測(cè)及相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)獲得了廣泛的應(yīng)用；但PSD的輸出信號(hào)小，易受到電路噪聲的影響，若要充分發(fā)揮其性能，則需要高精度、...

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