微電子技術的發展規律及趨勢。介紹了微電子技術隨特征尺寸縮小而存在的幾個關鍵發展層次
微電子技術的發展規律及趨勢。介紹了微電子技術隨特征尺寸縮小而存在的幾個關鍵發展層次,包括微細加工、互連技術、新器件結構及材料技術等。...
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