摘要：設計并制作了一種基于溫度梯度驅動的液滴傳輸芯片，以實現對微液滴傳輸的精確控制．介紹了驅動原理和工藝流程，分析了仿真和實驗結果．該芯片利用溫度梯度下液滴表面形成的表面張力梯度來傳輸液滴，采用玻璃作為襯底，Ｔｉ為電阻加熱器，Ａｕ為電極，ＰＥＣＶＤ氧化硅為介質層，碳氟聚合物為疏水層，實現了器件制作．芯片采用開放式結構，制作工藝簡單，操作方便．測試結果表明，驅動功率為０．３８Ｗ時，去離子水和硅油的傳輸速率分別達到０．１ｍｍ燉ｓ和１ｍｍ燉ｓ．關鍵詞：微液滴；溫度梯度；表面張力梯度；電阻加熱器；開放式結構
標簽：
溫度
梯度驅動
傳輸
上傳時間：
2013-10-29
上傳用戶：ukuk
