?? 硅微技術(shù)資料

?? 資源總數(shù):2004
?? 技術(shù)文檔:2
?? 源代碼:2368

?? 硅微全部資料 (2004個(gè))

項(xiàng)目的研究?jī)?nèi)容是對(duì)硅微諧振式加速度計(jì)的數(shù)據(jù)采集電路開(kāi)展研究工作。硅微諧振式加速度計(jì)敏感結(jié)構(gòu)輸出的是兩路差分的頻率信號(hào),因此硅微諧振式加速度計(jì)數(shù)據(jù)采集電路完成的主要任務(wù)是測(cè)出兩路頻率信號(hào)的差值。測(cè)量要求...

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項(xiàng)目的研究?jī)?nèi)容是對(duì)硅微諧振式加速度計(jì)的數(shù)據(jù)采集電路開(kāi)展研究工作。硅微諧振式加速度計(jì)敏感結(jié)構(gòu)輸出的是兩路差分的頻率信號(hào),因此硅微諧振式加速度計(jì)數(shù)據(jù)采集電路完成的主要任務(wù)是測(cè)出兩路頻率信號(hào)的差值。測(cè)量要求...

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項(xiàng)目的研究?jī)?nèi)容是對(duì)硅微諧振式加速度計(jì)的數(shù)據(jù)采集電路開(kāi)展研究工作。硅微諧振式加速度計(jì)敏感結(jié)構(gòu)輸出的是兩路差分的頻率信號(hào),因此硅微諧振式加速度計(jì)數(shù)據(jù)采集電路完成的主要任務(wù)是測(cè)出兩路頻率信號(hào)的差值。測(cè)量要求...

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MEMS是融合了硅微加工,LIGA和精密機(jī)械加工等多種加工技術(shù),并應(yīng)用現(xiàn)代信息技術(shù)構(gòu)成的微型系統(tǒng)....

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