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MEMS器件氣密封裝工藝規范

  • 資源大小:380 K
  • 上傳時間: 2013-10-13
  • 上傳用戶:feiguohaihu
  • 資源積分:2 下載積分
  • 標      簽: MEMS 器件 密封 工藝規范

資 源 簡 介

MEMS是融合了硅微加工,LIGA和精密機械加工等多種加工技術,并應用現代信息技術構成的微型系統.

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