針對飛秒激光微納加工技術(shù)中激光與加工樣品相對運(yùn)動的控制、聚焦光斑能量的控制中存在的問題，提出一種基于硅基液晶空間光調(diào)制器動態(tài)加載計(jì)算全息圖同時控制焦點(diǎn)位置和能量的新型加工方法。該方法通過加載疊加閃耀光柵的全息圖，控制單點(diǎn)運(yùn)動來掃描加工二維結(jié)構(gòu)，無需平臺移動。進(jìn)一步控制全息圖的挖空區(qū)域，可以調(diào)制入射光斑的能量，進(jìn)而控制被加工點(diǎn)陣的形貌。利用這一加工效應(yīng)，成功實(shí)現(xiàn)各種可控環(huán)狀結(jié)構(gòu)的加工，并在光學(xué)顯微鏡下測試達(dá)到相應(yīng)效果，證明這種加工方法在飛秒激光微納加工領(lǐng)域具有可行性。
標(biāo)簽：
空間光調(diào)制器
激光加工
能量
上傳時間：
2019-02-22
上傳用戶：yuchen1019
