?? 電真空材料技術資料

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1-1前言一般人所能夠感受到聲音的頻率約介於5H2-20KHz,超音波(Ultrasonic wave)即爲頻率超過20KHz以上的音波或機械振動,因此超音波馬達就是利用超音波的彈性振動頻率所構成的制動力。超音波馬達的內部主要是以壓電陶瓷材料作爲激發源,其成份是由鉛(Pb)、結(Zr)及鈦(Ti)的...

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高中壓斷路器是電力系統中最重要的開關設備,用高中壓斷路器保護電力系統至今已經歷了一段漫長歷史。從最初的油斷路器發展到壓縮空氣斷路器,再到目前作為無油化開關的真空斷路器和SF6斷路器。其中真空斷路器以其小型化和高可靠性等優點,已在高中壓領域得到愈來愈廣泛的應用。作為真空斷路器的核心部件,真空滅弧室的研...

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結合典型的焊料鍵合MEMS真空封裝工藝,應用真空物理的相關理論,建立了封裝腔體的真空度與氣體吸附和解吸、氣體的滲透、材料的蒸氣壓、氣體通過小孔的流動等的數學模型,確定了其數值模擬的算法.通過實驗初步驗證了模擬結果的準確性,分析了毛細孔尺寸對腔體和烘箱真空度的影響,實現了MEMS器件真空封裝工藝的參數...

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