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焊料鍵合實現MEMS真空封裝的模擬

  • 資源大小:450 K
  • 上傳時間: 2016-07-26
  • 上傳用戶:leishenzhichui
  • 資源積分:2 下載積分
  • 標      簽: MEMS 焊料 封裝 模擬 鍵合

資 源 簡 介

結合典型的焊料鍵合MEMS真空封裝工藝,應用真空物理的相關理論,建立了封裝腔體的真空度與氣體吸附和解吸、氣體的滲透、材料的蒸氣壓、氣體通過小孔的流動等的數學模型,確定了其數值模擬的算法.通過實驗初步驗證了模擬結果的準確性,分析了毛細孔尺寸對腔體和烘箱真空度的影響,實現了MEMS器件真空封裝工藝的參數化建模與模擬和仿真優化設計.

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