?? Bar-Shalom技術(shù)資料

?? 資源總數(shù):60
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  對基于BCB的圓片級封裝工藝進行了研究,該工藝代表了MEMS加速度計傳感器封裝的發(fā)展趨勢,是MEMS加速度計產(chǎn)業(yè)化的關(guān)鍵。選用3000系列BCB材料進行MEMS傳感器的粘結(jié)鍵合工藝試驗,解決了...

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