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機電類比法是一種把機械量通過一定的計算等效類比為電量的方法,其在對電子機械系統的分析中應用非常廣泛。它能夠把一個較復雜的機械系統類比為我們熟知的電路系統來進行分析,從而使問題的分析得到簡化。本文通過對振弦式傳感器的分析介紹了機電類比法,并對使用電路進行了相關的分析。 Summary:The...

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對微機電系統(Micro electro mechanical systems,MEMS)組裝與封裝工藝的特點進行了總結分析,給出了MEMS組裝與封裝設備的研究現狀。針對MEMS產業發展的特點,分析了面向MEMS組裝與封裝的微操作設備中的工藝參數優化數據庫、快速精密定位、模塊化作業工具、快速顯微視覺...

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