面向微機電系統組裝與封裝的微操作裝備關鍵技術 - 免費下載
其他書籍資源
文件大小：709 K
?? 資源詳細信息
?? 溫馨提示：本資源由用戶 leishenzhichui 上傳分享，僅供學習交流使用。如有侵權，請聯系我們刪除。
資源簡介
對微機電系統(Micro electro mechanical systems，MEMS)組裝與封裝工藝的特點進行了總結分析，給出了MEMS組裝與封裝設備的研究現狀。針對MEMS產業(yè)發(fā)展的特點，分析了面向MEMS組裝與封裝的微操作設備中的工藝參數優(yōu)化數據庫、快速精密定位、模塊化作業(yè)工具、快速顯微視覺、柔性裝夾和自動化物流等關鍵技術。在此基礎上，詳細介紹了研制的MEMS傳感器陽極化鍵合設備和引線鍵合設備的組成結構，工作原理，并給出了組裝和封裝試驗結果。最后，指出了MEMS組裝與封裝技術及設備研制的發(fā)展趨勢。
立即下載此資源
提示：下載后請用壓縮軟件解壓，推薦使用 WinRAR 或 7-Zip
資源說明
下載說明
- 下載需消耗 2積分
- 24小時內重復下載不扣分
- 支持斷點續(xù)傳
- 資源永久有效
使用說明
- 下載后用解壓軟件解壓
- 推薦 WinRAR 或 7-Zip
- 如有密碼請查看說明
- 解壓后即可使用
積分獲取
- 上傳資源獲得積分
- 每日簽到免費領取
- 邀請好友注冊獎勵
- 查看詳情 →