IGBT失效分析技術 - 免費下載

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資源簡介

近年來,對器件的失效分析已經成為電力電子領域中一個研究熱點。本論文基于現代電力電子裝置中應用最廣的IGBT器件,利用靜態測試儀3716,SEM(Scanning Electrom Microscope,掃描電子顯微鏡)、EDX(Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy、能量色散x射線光譜儀)、FIB(Focused lon beam,聚焦高子束)切割、TEM(Thermal Emmision Microscope,高精度熱成像分析儀)等多種分析手段對模塊應用當中失效的1GBT芯片進行電特性分析、芯片解剖并完成失效分析,并基于相應的失效模式提出了封裝改進方案。

1,對于柵極失效的情況,本論文先經過電特性測試完成預分析,并利用THEMOS分析出柵極漏電流通路,找到最小點并進行失效原因分析,針對相應原因提出改進方案。

2,針對開通與關斷瞬態過電流失效,采用研磨、劃片等手段進行芯片的解剖。并用SEM與EDX對芯片損傷程度進行評估分析,以文獻為參考進行失效原因分析,利用saber仿真進行失效原因驗證。

3,針對通態過電流失效模式,采用解剖分析來評估損傷情況,探究失效原因,并采用電感鉗位電路進行實驗驗證。

4,針對過電壓失效模式,采用芯片解剖方式來分析失效點以及失效情況,基于文獻歸納并總結出傳統失效原因,并通過大量實驗得出基于封裝的失效原因,最后采用saber仿真加以驗證。


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