厚膜濕度傳感器結構，原理及特性介紹
厚膜濕度傳感器結構，原理及特性介紹

1. 厚膜濕度傳感器構造與原理

厚膜濕度傳感器，是最近開發出來的產品，改善了使用前加熱除污的麻煩，它是利用厚膜混合IC 制作技術及電子陶質技術來制作出采用電氣阻抗轉換方式的傳感器。這種傳感器的外圍尺寸為 14.7 x 21.0 x 6.0mm。圖1所示者為這種傳感器的結構。該感測器有兩個金屬厚膜的梳形電極，此兩電極是生成在陶質基板上，在梳形電極的上面形成厚達10μm 的厚膜感濕層，另外在感濕層上又覆蓋一層防止感濕層污染用的過濾器，一般是由多孔性高分子膜形成。此類組件的感濕層為具有多孔質結構的ZrO2 類的厚膜，其上面處理了一層堿金屬以穩定阻抗值的調整過程。傳感器的兩極間傳導介質，則是由感濕層吸著水之后，表面解離產生的氫離子擔任，當濕度高時解離的氫離子增加，傳感器的阻抗隨即降低。



       圖1 厚膜濕度傳感器結構外型