電容式測微器工作原理及結構圖
電容式測微器工作原理及結構圖

利用電容效應，當對象至傳感器間之距離改變時，即會改變電容值，應用此一原理可擷取待測對象細微幾何形狀之尺寸。由于電容效應存在于各個物質間，因此在傳感器的設計上必需考慮到噪聲防治的保護措施，如圖(a)所示之結構圖在傳感器外圍加上兩層封裝以杜絕外界干擾，圖(b)則為傳感器的等效電路圖。電容式測微器由于利用電容效應因此分辨率相當高，一般電容式傳感器的量測范圍為±0.13mm，分辨率為0.1μm，精確度則為全刻度之0.1-0.2%，同時電容式測微器為非接觸式量測，因此理論上壽命為無限長。



(a)電容式測微器結構封裝示意圖



(b)電容式測微器等效電路圖