微電子技術(shù)的發(fā)展規(guī)律及趨勢。介紹了微電子技術(shù)隨特征尺寸縮小而存在的幾個關(guān)鍵發(fā)展層次
微電子技術(shù)的發(fā)展規(guī)律及趨勢。介紹了微電子技術(shù)隨特征尺寸縮小而存在的幾個關(guān)鍵發(fā)展層次,包括微細(xì)加工、互連技術(shù)、新器件結(jié)構(gòu)及材料技術(shù)等。...
微電子技術(shù)的發(fā)展規(guī)律及趨勢。介紹了微電子技術(shù)隨特征尺寸縮小而存在的幾個關(guān)鍵發(fā)展層次,包括微細(xì)加工、互連技術(shù)、新器件結(jié)構(gòu)及材料技術(shù)等。...
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