?? 電真空器件技術資料

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真空斷路器滅弧室觸頭是斷路器實現分閘合閘的關鍵部件,需定期檢查,但常規人工檢測方法費時費力。經過對真空斷路器滅弧室機械結構特點與動作過程的研究,設計出一種基于ARM處理器的觸頭磨損度檢測系統,此系統由...

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結合典型的焊料鍵合MEMS真空封裝工藝,應用真空物理的相關理論,建立了封裝腔體的真空度與氣體吸附和解吸、氣體的滲透、材料的蒸氣壓、氣體通過小孔的流動等的數學模型,確定了其數值模擬的算法.通過實驗初步驗...

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MEMS真空封裝是提高MEMS慣性器件性能的主要手段。本文應用實驗方法,在真空熔焊工藝設備上研究了MEMS器件金屬外殼真空封裝工藝。對不同鍍層結構的外殼進行了封裝實驗比較和氣密性測試,結果發現,金屬外...

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