亚洲欧美第一页_禁久久精品乱码_粉嫩av一区二区三区免费野_久草精品视频

蟲(chóng)蟲(chóng)首頁(yè)| 資源下載| 資源專(zhuān)輯| 精品軟件
登錄| 注冊(cè)

您現(xiàn)在的位置是:蟲(chóng)蟲(chóng)下載站 > 資源下載 > 行業(yè)應(yīng)用文檔 > MEMS真空熔焊封裝工藝研究

MEMS真空熔焊封裝工藝研究

  • 資源大小:579 K
  • 上傳時(shí)間: 2016-07-26
  • 上傳用戶(hù):leishenzhichui
  • 資源積分:2 下載積分
  • 標(biāo)      簽: MEMS 熔焊 封裝工藝

資 源 簡(jiǎn) 介

MEMS真空封裝是提高M(jìn)EMS慣性器件性能的主要手段。本文應(yīng)用實(shí)驗(yàn)方法,在真空熔焊工藝設(shè)備上研究了MEMS器件金屬外殼真空封裝工藝。對(duì)不同鍍層結(jié)構(gòu)的外殼進(jìn)行了封裝實(shí)驗(yàn)比較和氣密性測(cè)試,結(jié)果發(fā)現(xiàn),金屬外殼表面鍍Ni和鍍Au或管座表面鍍Ni和Au、管帽表面鍍Ni可有效的提高真空封裝的氣密性和可靠性,其氣密性?xún)?yōu)于5×10-9 Pa·m3/s。封裝樣品的高低溫循環(huán)實(shí)驗(yàn)和真空保持特性的測(cè)量結(jié)果說(shuō)明,金屬外殼真空熔焊工藝可基本滿(mǎn)足MEMS器件真空封裝工藝的要求,并測(cè)得真空度為5 Pa—15 Pa左右。MEMS陀螺儀的封裝應(yīng)用也說(shuō)明了工藝的可行性。

相 關(guān) 資 源

主站蜘蛛池模板: 沙田区| 金沙县| 高雄县| 大邑县| 青铜峡市| 鹿邑县| 芮城县| 闽清县| 筠连县| 牟定县| 都匀市| 泰安市| 日照市| 佛教| 宁国市| 上蔡县| 海宁市| 留坝县| 汾阳市| 林西县| 绩溪县| 霸州市| 普洱| 崇左市| 临澧县| 青岛市| 荣昌县| 丹棱县| 安阳县| 澄迈县| 巫溪县| 邵阳县| 堆龙德庆县| 沈丘县| 茶陵县| 昭苏县| 大同市| 关岭| 伊宁市| 鄂伦春自治旗| 炎陵县|