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電真空材料

  • MEMS真空熔焊封裝工藝研究

    MEMS真空封裝是提高MEMS慣性器件性能的主要手段。本文應(yīng)用實驗方法,在真空熔焊工藝設(shè)備上研究了MEMS器件金屬外殼真空封裝工藝。對不同鍍層結(jié)構(gòu)的外殼進行了封裝實驗比較和氣密性測試,結(jié)果發(fā)現(xiàn),金屬外殼表面鍍Ni和鍍Au或管座表面鍍Ni和Au、管帽表面鍍Ni可有效的提高真空封裝的氣密性和可靠性,其氣密性優(yōu)于5×10-9 Pa·m3/s。封裝樣品的高低溫循環(huán)實驗和真空保持特性的測量結(jié)果說明,金屬外殼真空熔焊工藝可基本滿足MEMS器件真空封裝工藝的要求,并測得真空度為5 Pa—15 Pa左右。MEMS陀螺儀的封裝應(yīng)用也說明了工藝的可行性。

    標簽: MEMS 熔焊 封裝工藝

    上傳時間: 2016-07-26

    上傳用戶:leishenzhichui

  • 真空熒光顯示

    真空熒光顯示pdf典型的VFD是三極結(jié)構(gòu),由絲狀直熱式氧化物陰極,網(wǎng)狀或絲狀柵極和表面涂覆有發(fā)光粉的陽極構(gòu)成。

    標簽: 熒光

    上傳時間: 2016-08-28

    上傳用戶:行旅的喵

  • 材料化學基礎(chǔ)

    詳細的講解了材料的初始構(gòu)成,電池的結(jié)構(gòu),動力學,熱力學,以及現(xiàn)代實驗常采用的制備納米材料的方法,包括氣相法和液相法。

    標簽: 材料 化學

    上傳時間: 2017-04-11

    上傳用戶:三金1234

  • 材料化學以及材料合成的基本知識

    詳細的介紹了無機材料的合成,高分子材料的基本知識以及合成,

    標簽: 材料 化學

    上傳時間: 2017-04-11

    上傳用戶:三金1234

  • 材料物理性質(zhì)

    主要介紹材料的物理參數(shù),運用張量的方法來表明 材料的彈性,抗拉性等

    標簽: 材料 物理性

    上傳時間: 2017-04-11

    上傳用戶:三金1234

  • 材料物理性質(zhì)

    運用高等數(shù)學中的張量知識,重新解讀材料的物理性質(zhì)

    標簽: 材料 物理性

    上傳時間: 2017-04-11

    上傳用戶:三金1234

  • 材料物理性質(zhì)

    將材料的基本物理性質(zhì),運用現(xiàn)代數(shù)學的知識張量將其重新表現(xiàn)

    標簽: 材料 物理性

    上傳時間: 2017-04-11

    上傳用戶:三金1234

  • 材料物理性質(zhì)

    將傳統(tǒng)的材料物理性質(zhì)用現(xiàn)代的數(shù)學知識將其表現(xiàn),

    標簽: 材料 物理性

    上傳時間: 2017-04-11

    上傳用戶:三金1234

  • 材料物理性質(zhì)

    將傳統(tǒng)的材料物理性質(zhì)用現(xiàn)代的數(shù)學知識將其表現(xiàn),

    標簽: 材料 物理性

    上傳時間: 2017-04-11

    上傳用戶:三金1234

  • 材料物理性質(zhì)

    將傳統(tǒng)的材料物理性質(zhì)用現(xiàn)代的數(shù)學知識將其表現(xiàn),

    標簽: 材料 物理性

    上傳時間: 2017-04-11

    上傳用戶:三金1234

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