?? MEMS技術資料

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微機電系統（MEMS）器件的構成涉及微電子、微機械、微動力、微熱力、微流體學、材料、物理、化學、生物等多個領域，形成了多能量域并交叉耦合。為其產品的建模、仿真以及優化設計帶來了較大的難度。由于靜電驅動...

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高精度慣性加速度計能夠實現實時位移檢測，在當今民用和軍用系統如汽車電子、工業控制、消費電子、衛星火箭和導彈等中間具有廣泛的需求。在高精度慣性加速度計中，特別需要穩定的低噪聲高靈敏度接口電路。事實上，隨...

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· 摘要：  通過分析小波分析法中的閾值去噪算法的原理,根據MEMS陀螺儀信號漂移的數學模型,采用了基于小波閾值去噪法對MEMS陀螺儀的輸出進行實時消噪處理.并將該算法應用到基于D...

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　　對基于BCB的圓片級封裝工藝進行了研究，該工藝代表了MEMS加速度計傳感器封裝的發展趨勢，是MEMS加速度計產業化的關鍵。選用3000系列BCB材料進行MEMS傳感器的粘結鍵合工藝試驗，解決了...

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對于采用MEMS加速度計和陀螺儀的工業系統而言，優化帶寬可能是關鍵考慮因素。這代表著精度(噪聲)與響應時間之間的一種經典權衡。雖然多數MEMS傳感器制造商都會給出典型帶寬指標，往往還需要驗證傳感器...

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摘要:通過對西瓜的力學和物理特性的分析,設計一套以凌陽十六位單片機為控制核心,以MEMS(微機電系統)加速度傳感器為檢測工具,以FFT(快速傅里葉變換)為信號分析和計算方法的西瓜成熟度快速檢測裝置.檢...

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