靜電梳齒結(jié)構(gòu)的MEMS分析和優(yōu)化設(shè)計(jì).rar
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件的構(gòu)成涉及微電子、微機(jī)械、微動力、微熱力、微流體學(xué)、材料、物理、化學(xué)、生物等多個領(lǐng)域,形成了多能量域并交叉耦合。為其產(chǎn)品的建模、仿真以及優(yōu)化設(shè)計(jì)帶來了較大的難度。由于靜電驅(qū)動...
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件的構(gòu)成涉及微電子、微機(jī)械、微動力、微熱力、微流體學(xué)、材料、物理、化學(xué)、生物等多個領(lǐng)域,形成了多能量域并交叉耦合。為其產(chǎn)品的建模、仿真以及優(yōu)化設(shè)計(jì)帶來了較大的難度。由于靜電驅(qū)動...
高精度慣性加速度計(jì)能夠?qū)崿F(xiàn)實(shí)時位移檢測,在當(dāng)今民用和軍用系統(tǒng)如汽車電子、工業(yè)控制、消費(fèi)電子、衛(wèi)星火箭和導(dǎo)彈等中間具有廣泛的需求。在高精度慣性加速度計(jì)中,特別需要穩(wěn)定的低噪聲高靈敏度接口電路。事實(shí)上,隨...
· 摘要: 通過分析小波分析法中的閾值去噪算法的原理,根據(jù)MEMS陀螺儀信號漂移的數(shù)學(xué)模型,采用了基于小波閾值去噪法對MEMS陀螺儀的輸出進(jìn)行實(shí)時消噪處理.并將該算法應(yīng)用到基于D...
STM32F4-Discovery MEMS keil&iar例程...
對基于BCB的圓片級封裝工藝進(jìn)行了研究,該工藝代表了MEMS加速度計(jì)傳感器封裝的發(fā)展趨勢,是MEMS加速度計(jì)產(chǎn)業(yè)化的關(guān)鍵。選用3000系列BCB材料進(jìn)行MEMS傳感器的粘結(jié)鍵合工藝試驗(yàn),解決了...
本電路用于實(shí)現(xiàn)模擬MEMS麥克風(fēng)與麥克風(fēng)前置放大器的接口,如圖1所示。ADMP504由一個MEMS麥克風(fēng)元件和一個輸出放大器組成。ADI公司的MEMS麥克風(fēng)具有高信噪比(SNR)和平坦的寬帶頻率響應(yīng),...
對于采用MEMS加速度計(jì)和陀螺儀的工業(yè)系統(tǒng)而言,優(yōu)化帶寬可能是關(guān)鍵考慮因素。這代表著精度(噪聲)與響應(yīng)時間之間的一種經(jīng)典權(quán)衡。雖然多數(shù)MEMS傳感器制造商都會給出典型帶寬指標(biāo),往往還需要驗(yàn)證傳感器...
A MEMS microphone IC is unique among Analog Devices, Inc., products in that its input is an acoustic...
摘要:通過對西瓜的力學(xué)和物理特性的分析,設(shè)計(jì)一套以凌陽十六位單片機(jī)為控制核心,以MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))加速度傳感器為檢測工具,以FFT(快速傅里葉變換)為信號分析和計(jì)算方法的西瓜成熟度快速檢測裝置.檢...
mems...