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溫度傳感器

  • 資源大小:188 K
  • 上傳時(shí)間: 2015-12-03
  • 上傳用戶:uujk001
  • 資源積分:2 下載積分
  • 標(biāo)      簽: mems 溫度傳感器

資 源 簡(jiǎn) 介

本文設(shè)計(jì)一種基于表面微機(jī)械 MEMS加工工藝的微型傳感器,具有體積小,靈敏度高,穩(wěn)定性強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。

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