基于偏振相移和相關(guān)分析,提出一種高分辨率、方便實(shí)現(xiàn)的干涉條紋細(xì)分原理.該原理將細(xì)分環(huán)節(jié)由電
子線路信號(hào)處理部分向前移,通過(guò)干涉條紋強(qiáng)度分布綜合信息的分析與處理來(lái)實(shí)現(xiàn),即通過(guò)具有高分辨率的
偏振相移操作,對(duì)干涉相位進(jìn)行相位調(diào)控,使干涉條紋強(qiáng)度分布回到位移起始時(shí)的狀態(tài),則與相位調(diào)控量對(duì)應(yīng)
的光程,即為位移的λ/2小數(shù)倍部分.由于偏振相移采用具有極大放大倍數(shù)的硬件機(jī)械運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn),因而能取得
可靠的高分辨率細(xì)分.理論分析和模擬結(jié)果顯示,該干涉條紋細(xì)分原理可容易地達(dá)到nm級(jí)細(xì)分分辨率
標(biāo)簽：
分
偏振
相移
干涉條紋
上傳時(shí)間：
2013-12-25
上傳用戶：lnnn30
