位置敏感探測器PSD（Position Sensitive Detector PSD）具有位置分辨精度高（可達1～2 μm）、輸出實時性好（響應時間約幾微秒）、系統簡潔的特點，在位置探測及相關領域內獲得了廣泛的應用；但PSD的輸出信號小，易受到電路噪聲的影響，若要充分發揮其性能，則需要高精度、高穩定度、低噪聲的測量電路。針對PSD這種較高的使用要求，通過對其等效模型的分析，找到了影響位置分辨精度的主要因素，并提出了一種新形式的測量電路，減少了測量電路級數，降低了電路的噪聲以及測量電路內部的漂移，同時具有對位置測量非線性的校正功能。采用上述原理以S1880 PSD建立的位置測量系統的位置分辨達到2～3 μm。
標簽：
敏感探測器
微位移
測量
電路設計
上傳時間：
2013-11-06
上傳用戶：skhlm
