?? MEMS技術技術資料

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MEMS技術，即微機電系統技術，是將微型機械結構、傳感器、執行器及電子電路集成于單一芯片上的高科技成果。廣泛應用于汽車安全、醫療健康、消費電子等領域，為智能設備提供精準感知與控制能力。掌握MEMS設計與制造工藝，不僅能夠提升個人專業技能，還能在物聯網時代把握更多創新機遇。本頁面匯集了20534份精選MEMS相關資料，涵蓋從基礎理論到前沿應用的全面內容，助力工程師深入理解并實踐這一前沿科技。

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BP5611 是一款采用MEMS 技術將高線性壓力傳感器與一個低功耗的24 位模數轉換電路（ADC）集成于一體的數字氣壓傳感器模塊。該產品支持SPI 和I2C 總線傳輸協議，可與任何微處理器匹配工作。 ...

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本人平時收集的慣性導航算法的論文，對搞導航算法的人很有幫助。 1.易于實現的捷聯式慣性導航系統仿真.pdf 2.測量運動物體姿態的三自由度定位算法的研究.pdf 3.基于MEMS 技術的微型慣性測量組合.pdf 4.基于四元數的空間全方位算法研究.pdf 5.捷聯慣導積分算法設計（連載二）...

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選用4000系列BCB材料進行MEMS傳感器的粘接鍵合工藝試驗，解決了圓片級封裝問題，采用該技術成功加工出具有三層結構的圓片級封裝某種慣性壓阻類傳感器。依據標準GJB548A對其進行了剪切強度和檢漏測試，測得封裝樣品漏率小于5×10pa·cm3／s，鍵合強度大于49 N，滿足考核要求。...

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